U15-U17高效过滤器  ULPA超高效过滤器  ：空气过滤技术的核心解析

产品概述

U15-U17高效过滤器（Ultra Low Penetration Air Filter, ULPA）也叫ULPA超高效过滤器，是空气洁净技术的顶级产品，专为控制0.1-0.3μm微粒设计，过滤效率高达99.9995%-99.999995%（EN 1822标准），适用于对空气洁净度要求严苛的半导体芯片制造、生物安全实验室、精密医疗器械生产等场景。作为洁净室空气处理的最终屏障，其性能直接影响工艺良率与安全合规性。

技术参数

参数项 U15 U16 U17

过滤效率 ≥99.9995% ≥99.99995% ≥99.999995%

初始风阻 ≤220Pa ≤250Pa ≤280Pa

终阻力 ≤600Pa

MPPS范围 0.12-0.18μm 0.10-0.15μm 0.08-0.12μm

额定风量 470-1600m³/h

标准尺寸：610X610X50mm，610X610X69mm，915X610X69mm，1220X610X69mm，非标尺寸均可定制，厚度50mm-120mm不等。

核心技术特性

1. 超高效过滤性能

分级拦截机制：

玻纤滤材：采用超细玻璃纤维（纤维直径0.3-0.5μm），通过布朗扩散、拦截效应实现纳米级颗粒捕集；

结构优化：多梯度褶皱设计（褶深20-50mm），过滤面积提升3-5倍，初始风阻≤250Pa。

效率标准：等级 过滤效率（MPPS） 适用场景

U15 ≥99.9995% 半导体光刻区、CMP车间

U16 ≥99.99995% 生物制药无菌灌装线

U17 ≥99.999995% 航天精密元件装配

MPPS（Most Penetrating Particle Size）：0.1-0.2μm

2. 严格的结构完整性

密封工艺：双组分聚氨酯胶槽密封，泄漏率≤0.005%（PAO法测试，IEST-RP-CC007标准）；边框采用阳极氧化铝或不锈钢，耐腐蚀、抗形变（适用温度-40℃~120℃）。

出厂检测：100%逐台扫描检漏（激光粒子计数器），确保无局部渗漏缺陷。

3. 长寿命与低维护成本

容尘量提升：表面覆PTFE涂层，延缓颗粒板结，寿命较传统ULPA延长30%；可清洁设计：特定型号支持原位化学清洗（IPA冲洗），重复使用周期达5-8年。

应用场景与行业案例

1. 半导体制造业

光刻机环境控制：U16级过滤器维持ISO 1级洁净度（≤0.1μm颗粒≤10个/m³），保障28nm以下芯片良率；案例数据：某12英寸晶圆厂采用U17过滤器，缺陷率从0.12%降至0.03%，年增收超2亿元。

2. 生物医药领域

疫苗无菌灌装：U15级过滤器拦截细菌载体（0.2-0.5μm噬菌体），生物负载控制＜1CFU/m³；负压隔离病房：配套BIBO系统，病毒气溶胶截留率≥99.9999%（SARS-CoV-2模拟测试）。

3. 精密光学制造

激光陀螺仪装配：U17级过滤器确保洁净室悬浮颗粒≤ISO 2级，降低光学元件表面散射损耗；防静电型号：表面电阻≤10⁶Ω，防止静电吸附亚微米粉尘。

安装与维护规范

1. 安装要求

气流匹配：面风速控制在0.35-0.45m/s，均匀性偏差≤±15%；密封测试：安装后需进行PAO/DOP原位扫描检漏。

2. 寿命管理

压差监测：初始压差×2为更换阈值（如U15初始220Pa，达440Pa需更换）；完整性验证：每6个月进行MPPS效率复测，效率下降＞0.001%即触发维护。

3. 废弃处理

危险废物分类：含玻纤滤材按HW49类处置（GB 5085.6）

4. 更换时间

建议最迟12个月内更换一次